特征

NAS Giken 的特點

出色的體蝕刻能力

我們的塊狀蝕刻性能非常好，我們保證平整度在 10% 以內。

世界**的污染回收能力

我們還獲得了親水硅片回收的國內**，并擁有世界**的功能和技術能力。

產品分類
簡易型微量金屬污染物采樣設備（SC系列）

無塵通風柜（NCD系列）

追加了SC-2000 / SC-3000無法實現的親水晶圓污染物采樣功能。

可以對硅材質以外的晶圓、由于蝕刻等導致表面粗糙的晶圓進行采樣操作。當然，也可以進行傳統的憎水采樣操作。

SC-3100

●通過與計算機聯機，可選擇豐富多樣的采樣模式，對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進行采樣操作。
●因為不太需要外部資源，也不太占地方，易于導入。
●采樣操作由設備自動完成，無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設備自動操作，與SC-2000相比，可以減少由操作員引起的污染。

SC-8100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能、對于硅材質以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態、采樣液種類的要求不苛刻，另外，還可以對非重金屬離子進行采樣。
●當然，也可以進行傳統的憎水采樣操作。

SC-9100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能、對于硅材質以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態，以及采樣液種類的采樣限制，本設備有所突破，另外，也可以對非重金屬離子進行采樣。
●當然，也可以進行常規的憎水采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設備自動操作，與SC-8100相比，可以減少由操作員引起的污染。