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總供ULVAC愛發科高速橢偏儀自動UNECS-1500A

產品型號： UNECS-1500A

產品品牌：ULVAC愛發科

產品介紹：

ULVAC愛發科面向顯示器、太陽電池、半導體、電子、電氣、金屬、機械、汽車、化學、食品、醫藥等行業以及大學、研究所等，提供真空設備、周邊機器、真空部品、材料的開發、制造、銷售、客戶服務等，以及各種器械的進出口業務。此外，提供各種真空技術相關的研究指導和技術顧問服務。

詳細介紹

國內總代原裝進口總供ULVAC愛發科高速橢偏儀自動UNECS-1500A 國內各區域均有售

高速橢圓光譜儀UNECS系列

ULVAC的高速光譜橢偏儀（UNECS系列）可以高速、高精度地測量薄膜的厚度和折射率。采用獨特的測量方法，實現高速測量和緊湊性。根據用途，我們有廣泛的產品陣容，從獨特的便攜式型到自動載物臺型和可以集成到設備中的內置型。

■高速測量獨特的測量方法，沒有旋轉機構，可以以*大20ms的速度進行高速測量，并且可以在短時間內測量重復測量和 多點分布測量。

■ 除了標準型（530 nm-750 nm）外，波長范圍還增加了可見光譜型（380 nm-760 nm），應用范圍更廣。

■ 緊湊型傳感器單元發射光傳感器僅由一個光學元件組成，該元件沒有旋轉機構，非常輕巧緊湊，不需要定期維護。

■ 豐富的產品陣容能夠處理各種用途，包括獨特的便攜式類型、手動/自動載物臺類型、大型基板類型和 內置設備類型。

UNECS-便攜式/UNECS-Portable-030/UNECS-PortableW/UNECS-PortableW

UNECS-1500M/UNECS-1500M-030/UNECS-1500MW/UNECS-1500MW-030

UNECS-1500A/UNECS-1500A-030/UNECS-1500AW/UNECS-1500AW-030/UNECS-2000A/UNECS-2000A-030/UNECS-2000AW/UNECS-2000AW-030/UNECS-3000A/UNECS-3000A-030/UNECS-3000AW/UNECS-3000AW-030

UNECS-1M型/UNECS-1M-030型/UNECS-1MW系列/UNECS-1MW-030型

UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。

采用獨特的測量方法，實現高速測量和緊湊性。

根據用途，我們提供廣泛的產品陣容，從獨特的便攜式型到自動載物臺型以及支持真空環境的內置型設備。

帶映射測量的自動載物臺類型

UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。
采用獨特的測量方法，實現高速測量和緊湊性。
根據用途，我們提供廣泛的產品陣容，從獨特的便攜式型到自動載物臺型以及支持真空環境的內置型設備。

UNECS-1500A/2000A/3000A使用自動R-theta載物臺和自動對焦功能，可快速自動測量基板表面的厚度分布，并將結果顯示在彩se圖中。

長處：

高速測量：
獨特的快照方式，實現高速測量，*高速度可達20ms。
可見光譜支持：
波長范圍可選擇標準型（530nm~750nm）和可見光譜型（380nm~760nm）。
緊湊的傳感器單元：
發射光傳感器僅由一個光學元件組成，該元件沒有旋轉機構，非常輕巧緊湊，不需要定期維護。
豐富的產品陣容：
提供獨特的便攜式、手動和自動載物臺、大型板型、大氣和真空環境的內置設備等廣泛的用途。
用：
透明或半透明薄膜（氧化物、氮化物、抗蝕劑、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰減系數的測定

規范：

型	1500安培	2000安培	3000安培
波長范圍	530~750nm、380~760nm（任選）
光斑直徑	Φ1mm、Φ0.3mm（任選）
入射角	70°固定
薄膜厚度再現性	1σ = 0.1納米
厚度范圍	1納米~2微米
測量時間	光接收：20ms~3000ms 操作：300ms
階段	Φ150mm自動	φ200mm自動	Φ300mm自動
自動測量	200 積分	200 積分	2,000 積分
控制電腦	筆記本型（帶操作和分析軟件）
儀器配置	測量本體、控制器、操作電腦（筆記本電腦型）、使用說明書（CD）

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高速橢圓光譜儀UNECS系列